Uru:
Usoro mgbapụta a dị mma na arụmọrụ n'okpuru gburugburu ebe obibi siri ike (oke okpomọkụ, uzuzu, wdg), kwụsiri ike na arụmọrụ yana ogologo ndụ ọrụ, yana ndozi dị mfe yana ọrụ dabara adaba.
Ngwa:
Ngwa ndị bụ isi dị na nchọpụta mgbapụta ụlọ ọrụ, PVD, CVD, ntinye ion, nrụpụta akụrụngwa elektrọnik, iko dị ala, iko ITO, mkpuchi anya, mkpụrụ ndụ anyanwụ, ịgbado ọkụ elektrọn, ọkụ ọkụ na ụlọ ọrụ ndị ọzọ.
Nkọwapụta:
Flange dị n'ime | DN400 ISO-K | Gas n'oge niile (sccm) | N2: 5500 |
Flange (pụọ) KF | DN100 | Ọ bụ 000 4000 | |
Ọgba mgbapụta (L/s) | N23500 | H23200 | |
Ọ bụ 50 2650 | Ọnụ ego : 2100 | ||
H2: 1280 | Ọsọ ntụgharị (rpm) | 13500 | |
Ọnụ ego : 3200 | Oge ịgba ọsọ (min) | ≤18 | |
Oke mkpakọ | N2108 | Ụdị jụrụ oyi, Ọkọlọtọ | Mmiri |
Ọ bụ : 103 | Oriri mmiri jụrụ oyi (L/min) | ≥1 | |
H2102 | Okpomoku mmiri jụrụ oyi (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Njikọ Ike: Voltage (V AC) | DC24/AC220 | |
Nrụgide Kachasịsịrị (Pa) | 6 × 10-6 | Max.Power Oriri (W) | ≤1100 |
Max. Nsogbu na-aga n'ihu n'ihu (Pa) | 100 | Model njikwa | FD-III |
Max. Nrụgide n'ihu agụụ | N2300 | Ibu (kgs) | 130 |